Notre ambition:

Combiner la recherche amont en MEMS et NEMS and les aspects applicatifs

  • Capteurs de force (sondes résonantes pour AFM, sondes à injection de spin)
  • Capteurs pour environnements sévères (e.g. inertiel)

Matériaux et composants

  • Micro-actuators, micro-sensors, electromechanical transduction, micro-resonators
  • Semiconductors, piezoelectric, thin films, multilayers, nanowires

Approche:

Expertise_Approche

Principales activités:

  1. Piézorésistance géante dans le silicium et ses nanostructures,
  2. Composants MEMS à base de nitrure de gallium,
  3. Résonateurs MEMS pour application aux capteurs de force en AFM haute fréquence,
  4. Instrumentation pour la nanocaractérisation.