Le Groupe NAM6 de l'Institut d'Electronique et de Micro-électronique du Nord (IEMN), se compose de 4 chercheurs CNRS et d'un professeur des universités, de 5 post-docs, de 6 doctorants et d'une assistante.

Il s'appuie sur les moyens communs de la centrale de technologies de l'IEMN dotées des équipements nécessaires à la fabrication des microdispositifs. Des outils spécifiques tels que le masqueur électronique, les microscopes à champ proche et un nano-indenteur permettent également le développement et la caractérisation des Micro et Nano Systèmes (MNS) soumis à des sollicitations statiques ou dynamiques.

Les différentes études en cours convergent toutes vers la réalisation de microdispositifs incorporant au moins un élément mobile ou vibrant, elles font l'objet de collaborations avec des partenaires académiques ou industriels, dans le cadre de programmes nationaux, voire dans le cadre de collaborations bilatérales (Contrat de Recherche avec un partenaire industriel ou laboratoire commun STMicroelectronics - IEMN).

 Depuis 1999, les recherches orientées vers des applications destinées aux communications ont conduit à la conception et à la réalisation de dispositifs de filtrage électromécanique (MELODICT), et de dispositifs de commutation pour des lignes hyperfréquences (ARRESAT). D'autre part, dans le cadre d'une collaboration bilatérale avec EADS/MBDA, notre groupe a été amené à réaliser un dispositif de logique sécuritaire incorporant un microcommutateur électro-thermique. A travers ces différentes actions, le Groupe NAM6 a acquis un savoir-faire dans le domaine de la simulation de microsystèmes électrostatiques et thermiques. Les contraintes environnementales (température et pression) sont également prises en considération lorsque le cahier des charges le requiert. Les simulations mécaniques sont effectuées soit au moyen de code éléments-finis, soit en implémentant des modèles élaborés par notre groupe dans des outils de calcul lorsque les codes de calcul commerciaux ne permettent pas la résolution de problèmes particuliers tels que le comportement post-flambement ou la stiction. Les axes de recherches du Groupe NAM6 comprennent l'activité MNS pour la communication et Étude des mécanismes d'endommagement des MNS et, plus récemment, l'étude d'une nouvelle génération de sondes pour la microscopie à champ proche.